Semitron® MPR 1000 PAI

Formele Semitron® MPR 1000 au o rezistență excelentă la căldură și rate mici de depășire și eroziune în camerele plasmatice. Acest material de înaltă puritate cu conținut ionic scăzut este adesea ales pentru aplicații de cameră de vid în cadrul segmentărilor Etch, BCV și Ion Implant în industria semiconductorului și electronică.

Semitron® MPR 1000 arată o durată de viață crescută asupra materialelor tradiționale, de exemplu până la 25x peste polimidă în ozon în unele cazuri. Datorită longevității sale, este specificat împotriva materialelor tradiționale utilizate în aplicații de cameră de vid, cum ar fi cuarț, ceramică, polimide și alte materiale plastice de inginerie.

Proprietăți materiale

Conținut ionic scăzut și o depășire scăzută

Rezistență excelentă la căldură

Rata minimizată de eroziune în camerele plasmatice

Rezistență optimă a cipului, durabilitate și mașinabilitatea

Proiectat special pentru aplicații de cameră solicitante

Aplicații: camere de vid pe bază de plasmă, inele de clemă, inele de șanț, șuruburi, pini, capete de duș, inele de focalizare, izolatoare, tampoane de vid

Despre Semitron ®

Produsele Semitron® Semiconductor Grade au fost dezvoltate pentru a ajuta proiectanții și utilizatorii să optimizeze performanța echipamentelor de fabricație a dispozitivelor. Pe lângă fabricarea dispozitivelor, multe dintre aceste materiale sunt ideale pentru medii specifice în care sunt necesare rezistență la uzură, rezistență chimică și gestionarea electricității statice.

Două grupuri de produse au fost dezvoltate. Una, potrivită pentru manipularea dispozitivelor și pentru aplicațiile de testare și o secundă pentru aplicațiile CMP, plasmă și notă de generație viitoare.

Notele Semitron sunt disponibile în foi, tijă (unele formulări) și piese prelucrate.